隨著生活水平的進步，人們對產品德量請求也越來越嚴格。因此，沾染車間廠家對車間設計的各個方面，也進步了請求，尤其沾染車間是在濕度方面，更是請求嚴苛。
行業人士可能都明白這個情理：高濕度實際上減小了沾染車間名義的靜電荷積聚，這是大家想要的結果；較低的濕度比較適合電荷的積聚并成為潛在的存在破壞性的靜電開釋源。
因此，當絕對濕度超過50%時，靜電荷開端敏捷消散，然而當絕對濕度小于30%時，它們可能在絕緣體或者未接地的名義上連續存在很長一段時光。潔凈室亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。是指一個具有低污染水平的環境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。凈化車間將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。
絕對濕度在35%到40%之間可堪稱是一個令人滿意的折中，半導體沾染車間、清潔室個別都利用額定的把持裝置以限度靜電荷的積聚。很多化學反應的速度，包含腐化進程，將隨著絕對濕度的增高而加快。所有裸露在沾染車間、清潔室四周空氣中的名義都很快地被籠罩上至少一層單分子層的水。當這些名義是由可能與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可能使反應加速。值得慶幸的是，一些金屬，比方鋁，可能與水形成一層維護型的氧化物，并禁止進一步的氧化反應;但還有另一種情況是不存在維護才干的，例如氧化銅，在高濕度的環境中，銅制名義更輕易受到腐化。
總之，沾染車間濕度的把穩重要在于其生產工藝的請求，所以廠家對沾染車間的濕度做出嚴格請求是很有必要的。凈化車間將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。